1. Оптик металлографийн микроскоп ба атомын хүчний микроскопын нэгдсэн загвар, хүчирхэг функц
2. Энэ нь оптик микроскоп болон атомын хүчний микроскопоор дүрслэх функцтэй бөгөөд хоёулаа бие биедээ нөлөөлөхгүйгээр нэгэн зэрэг ажиллах боломжтой.
3. Энгийн агаарын орчин, шингэн орчин, температурын хяналтын орчин, инертийн хийн хяналтын орчинд нэгэн зэрэг ажиллах боломжтой.
4. Дээж сканнердах хүснэгт болон лазер илрүүлэгч толгой нь хаалттай хэлбэрээр хийгдсэн бөгөөд тусгай хийг битүүмжлэх бүрээсгүйгээр дотор нь дүүргэж, гадагшлуулах боломжтой.
5. Лазер илрүүлэгч нь босоо оптик замын загварыг ашигладаг бөгөөд хий-шингэн хос зориулалттай датчик эзэмшигчтэй шингэн дор ажиллах боломжтой.
6. Нэг тэнхлэгт хөтлөгчтэй дээж нь автоматаар босоо тэнхлэгт ойртож, зүүний үзүүрийг дээжинд перпендикуляр сканнердах болно.
7. Моторын удирдлагатай даралтат пьезоэлектрик керамик автомат илрүүлэлтийн ухаалаг зүү тэжээх арга нь датчик болон дээжийг хамгаалдаг.
8. Зонд болон дээжийг сканнердах хэсгийн нарийн байрлалыг тогтоохын тулд хэт өндөр өсгөлтийн оптик байршлын систем
9. Нэгдсэн сканнер шугаман бус залруулгын хэрэглэгчийн засварлагч, нанометрийн шинж чанар, хэмжилтийн нарийвчлал 98% -иас илүү
Үзүүлэлтүүд:
| Үйлдлийн горим | мэдрэгчтэй горим, товших горим |
| Нэмэлт горим | Үрэлт/хажуугийн хүч, далайц/фаз, соронзон/электростатик хүч |
| хүчний спектрийн муруй | FZ хүчний муруй, RMS-Z муруй |
| XY скан хийх хүрээ | 50*50ум, нэмэлтээр 20*20ум, 100*100ум |
| Z скан хийх хүрээ | 5ум, сонголтоор 2ум, 10ум |
| Сканнерийн нягтрал | Хэвтээ 0.2нм, Босоо 0.05нм |
| Дээжийн хэмжээ | Φ≤68мм, H≤20мм |
| Тайзны аялалын жишээ | 25*25мм |
| Оптик нүдний шил | 10X |
| Оптик зорилго | 5X/10X/20X/50X төлөвлөгөөний апохроматик зорилтууд |
| Гэрэлтүүлгийн арга | LE Kohler гэрэлтүүлгийн систем |
| Оптик фокус | Гараар бүдүүлэг фокус |
| Камер | 5MP CMOS мэдрэгч |
| харуулах | Графиктай холбоотой хэмжилтийн функц бүхий 10.1 инчийн хавтгай дэлгэц |
| Халаалтын төхөөрөмж | Температурын хяналтын хүрээ: өрөөний температур ~ 250 ℃ (заавал биш) |
| Халуун, хүйтэн нэгдсэн платформ | Температурын хяналтын хүрээ: -20 ℃ ~ 220 ℃ (заавал биш) |
| Скан хийх хурд | 0.6Гц-30Гц |
| Скан хийх өнцөг | 0-360° |
| Үйл ажиллагааны орчин | Windows XP/7/8/10 үйлдлийн систем |
| Харилцаа холбооны интерфейс | USB2.0/3.0 |
