1. Бяцхан, салдаг загвартай, авч явах, заахад маш хялбар
2. Лазер илрүүлэх толгой ба дээж сканнердах үе шат нь нэгдсэн, бүтэц нь маш тогтвортой, хөндлөнгийн эсрэг хүчтэй
3. Нарийвчлалтай датчикийн байрлал тогтоох төхөөрөмж, лазер цэгийн тохируулга нь маш хялбар байдаг
4. Нэг тэнхлэг нь дээжийг автоматаар датчик руу босоо байдлаар чиглүүлж, зүүний үзүүрийг дээжинд перпендикуляр сканнердах болно.
5. Моторын удирдлагатай даралтат пьезоэлектрик керамик автомат илрүүлэлтийн ухаалаг зүү тэжээх арга нь датчик болон дээжийг хамгаалдаг.
6. Автомат оптик байрлал, анхаарлаа төвлөрүүлэх шаардлагагүй, датчикийн дээж сканнердах хэсгийн бодит цагийн ажиглалт, байршлыг тогтоох
7. Пүршний түдгэлзүүлэлтийн цохилтод тэсвэртэй арга, энгийн бөгөөд практик, сайн цохилтод тэсвэртэй
8. Нэгдсэн сканнер шугаман бус залруулгын хэрэглэгчийн засварлагч, нанометрийн шинж чанар, хэмжилтийн нарийвчлал 98% -иас илүү
Үзүүлэлтүүд:
| Үйлдлийн горим | мэдрэгчтэй горим, товших горим |
| Нэмэлт горим | Үрэлт/хажуугийн хүч, далайц/фаз, соронзон/электростатик хүч |
| хүчний спектрийн муруй | FZ хүчний муруй, RMS-Z муруй |
| XY скан хийх хүрээ | 20*20ум, нэмэлтээр 50*50ум, 100*100ум |
| Z скан хийх хүрээ | 2.5ум, нэмэлт 5ум, 10ум |
| Сканнерийн нягтрал | Хэвтээ 0.2нм, Босоо 0.05нм |
| Дээжийн хэмжээ | Φ≤90мм, H≤20мм |
| Тайзны аялалын жишээ | 15*15мм |
| Оптик ажиглалт | 4X оптик объектив линз / 2.5um нягтрал |
| Скан хийх хурд | 0.6Гц-30Гц |
| Скан хийх өнцөг | 0-360° |
| Үйл ажиллагааны орчин | Windows XP/7/8/10 үйлдлийн систем |
| Харилцаа холбооны интерфейс | USB2.0/3.0 |
| Цочрол шингээх загвар | Хавар түр зогссон |
