1. Оптик металлографийн микроскоп ба атомын хүчний микроскопын нэгдсэн загвар, хүчирхэг функц
2. Энэ нь оптик микроскоп болон атомын хүчний микроскоп дүрслэх функцтэй бөгөөд хоёулаа бие биедээ нөлөөлөхгүйгээр нэгэн зэрэг ажиллах боломжтой.
3. Үүний зэрэгцээ оптик хоёр хэмжээст хэмжилт, атомын хүчний микроскопоор гурван хэмжээст хэмжилт хийх үүрэгтэй.
4. Лазер илрүүлэх толгой ба дээж сканнердах үе шат нь нэгдсэн, бүтэц нь маш тогтвортой, хөндлөнгийн эсрэг хүчтэй
5. Нарийвчлалтай датчикийн байрлал тогтоох төхөөрөмж, лазер цэгийн тохируулга нь маш хялбар байдаг
6. Нэг тэнхлэгт хөтлөгчтэй дээж нь автоматаар босоо тэнхлэгт ойртож, зүүний үзүүрийг дээжинд перпендикуляр сканнердах болно.
7. Моторын удирдлагатай даралтат пьезоэлектрик керамик автомат илрүүлэлтийн ухаалаг зүү тэжээх арга нь датчик болон дээжийг хамгаалдаг.
8. Зонд болон дээжийг сканнердах хэсгийн нарийн байрлалыг тогтоохын тулд хэт өндөр өсгөлтийн оптик байршлын систем
9. Нэгдсэн сканнер шугаман бус залруулгын хэрэглэгчийн засварлагч, нанометрийн шинж чанар, хэмжилтийн нарийвчлал 98% -иас илүү
Үзүүлэлтүүд:
| Үйлдлийн горим | мэдрэгчтэй горим, товших горим |
| Нэмэлт горим | Үрэлт/хажуугийн хүч, далайц/фаз, соронзон/электростатик хүч |
| хүчний спектрийн муруй | FZ хүчний муруй, RMS-Z муруй |
| XY скан хийх хүрээ | 50*50ум, нэмэлтээр 20*20ум, 100*100ум |
| Z скан хийх хүрээ | 5ум, сонголтоор 2ум, 10ум |
| Сканнерийн нягтрал | Хэвтээ 0.2нм, Босоо 0.05нм |
| Дээжийн хэмжээ | Φ≤68мм, H≤20мм |
| Тайзны аялалын жишээ | 25*25мм |
| Оптик нүдний шил | 10X |
| Оптик зорилго | 5X/10X/20X/50X төлөвлөгөөний апохроматик зорилтууд |
| Гэрэлтүүлгийн арга | LE Kohler гэрэлтүүлгийн систем |
| Оптик фокус | Гараар бүдүүлэг фокус |
| Камер | 5MP CMOS мэдрэгч |
| харуулах | Графиктай холбоотой хэмжилтийн функц бүхий 10.1 инчийн хавтгай дэлгэц |
| Скан хийх хурд | 0.6Гц-30Гц |
| Скан хийх өнцөг | 0-360° |
| Үйл ажиллагааны орчин | Windows XP/7/8/10 үйлдлийн систем |
| Харилцаа холбооны интерфейс | USB2.0/3.0 |
