1. Лазер илрүүлэх толгой ба дээж сканнердах үе шат нь нэгдсэн, бүтэц нь маш тогтвортой, хөндлөнгийн эсрэг хүчтэй байдаг
2. Нарийвчлалтай датчикийн байрлал тогтоох төхөөрөмж, лазер цэгийн тохируулга нь маш хялбар байдаг
3. Нэг тэнхлэгт хөтлөгчтэй дээж автоматаар датчик руу босоо байдлаар ойртож, зүүний үзүүр нь сорьцын сканнерт перпендикуляр байна.
4. Моторын удирдлагатай даралтат пьезоэлектрик керамик автомат илрүүлэлтийн ухаалаг зүү тэжээх арга нь датчик болон дээжийг хамгаалдаг.
5. Автомат оптик байрлал, анхаарлаа төвлөрүүлэх шаардлагагүй, датчикийн дээж сканнердах хэсгийн бодит цагийн ажиглалт, байрлалыг тогтоох
6.Spring түдгэлзүүлсэн цохилтод тэсвэртэй арга, энгийн бөгөөд практик, сайн цохилтод тэсвэртэй
7. Металл хамгаалалттай дуу нэвтэрдэггүй хайрцаг, суурилуулсан өндөр нарийвчлалтай температур, чийгшлийн мэдрэгч, ажлын орчны бодит цагийн хяналт
8. Нэгдсэн сканнер шугаман бус залруулгын хэрэглэгчийн засварлагч, нанометрийн шинж чанар, хэмжилтийн нарийвчлал 98% -иас илүү
| Үйлдлийн горим | мэдрэгчтэй горим, товших горим |
| Нэмэлт горим | Үрэлт/хажуугийн хүч, далайц/фаз, соронзон/электростатик хүч |
| хүчний спектрийн муруй | FZ хүчний муруй, RMS-Z муруй |
| XY скан хийх хүрээ | 20*20ум, нэмэлтээр 50*50ум, 100*100ум |
| Z скан хийх хүрээ | 2.5ум, нэмэлт 5ум, 10ум |
| Сканнерийн нягтрал | Хэвтээ 0.2нм, Босоо 0.05нм |
| Дээжийн хэмжээ | Φ≤90мм, H≤20мм |
| Тайзны аялалын жишээ | 15*15мм |
| Оптик ажиглалт | 4X оптик объектив линз / 2.5um нягтрал |
| Скан хийх хурд | 0.6Гц-30Гц |
| Скан хийх өнцөг | 0-360° |
| Үйл ажиллагааны орчин | Windows XP/7/8/10 үйлдлийн систем |
| Харилцаа холбооны интерфейс | USB2.0/3.0 |
| Цочрол шингээх загвар | Хаврын түдгэлзүүлсэн/металл хамгаалалттай хайрцаг |
